半导体光电材料规模化关键生产技术检测设备永恒

省钱省事又省时间 ＬＥＤ外延片检测系统主要用于ＧａＮ发光二极管外延片的检测。该系统 利用光致发光原理，通过对荧光光谱等参数的采集，经过光谱仪，由线阵ＣＣＤ获得荧光光谱，再经计算机分析计算获得外延片的荧光光强、峰值波长、光谱半宽、主波长图和各种统计结果，以ｍａｐｐｉｎｇ形式显示分布图及数据，并可获得相应的截面分布图和显示单点光谱；显示各个参数的统计结果，显示选择范围的各项统计参数；有离线处理软件及根据用户要求进一步完善的软件等。该设备还可以完成局部扫描，对扫描结果可以进行去孤立点、去掉某一点和去边等处理。该设备利用白光反射谱，获得外延层膜厚度等参数，从而获得外延片质量分析所需要的信息。其全部检测及数据处理由计算机自动完成，窗口界面友好，可以保证使用者轻松完成操作。该设备在检测速度、质量及稳定性等方面达到或超过国际水平，软件方面独具特色。目前，该设备已经成功应用于多条生产线，是外延片生长工艺改进的重要依据，也是外延片质量标准的重要依据。该设备可以代替进口，其价格是进口价格的１／４，具有很高的性价比，因为ＬＥＤ外延片生产线有限，还可将其应用于ＬＥＤ芯片生产。这样芯片生产企业的产品质量有了保证，可以使仪器应用范围更广，亦可开拓海外市场。